Atomic Layer Deposition of Ruthenium Films

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Atomic Layer Deposition of Ruthenium Films
Mediengruppe: Print-Medien (SM,PM)
Verfasser: Leick-Marius, Noemie
Jahr: 2014

Cover des Mediums

Zweigstelle	Standorte
Eureka (SM)	530 Lei

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Atomic Layer Deposition of Ruthenium Films

Properties and Surface Reactions

Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Leick-Marius, Noemie Mehr...

Verfasserangabe: Noemie Leick-Marius

Jahr: 2014

Verlag: Eindhoven , Technische Universiteit

Mediengruppe: Print-Medien (SM,PM)

Verfügbar

Exemplare

Aktion	Zweigstelle	Standorte	Status	Vorb.	Frist	Farbe
Vorbestellen	Zweigstelle: Eureka (SM)	Standorte: 530 Lei	Status: Verfügbar	Vorbestellungen: 0	Frist:	Signaturfarbe:

Details

Verfasser: Suche nach diesem Verfasser Leick-Marius, Noemie

Verfasserangabe: Noemie Leick-Marius

Jahr: 2014

Verlag: Eindhoven , Technische Universiteit

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Systematik: Suche nach dieser Systematik 530

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ISBN: 978-94-6295-003-0

Beschreibung: 163 S.: Ill. ; 24 cm

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Sprache: Englisch

Mediengruppe: Print-Medien (SM,PM)

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